Ion Beam Assisted Deposition

Autor:
Petra Nordinghaus-Martin

IBAD, eine Art der Deposition von Material auf festen Oberflächen, bei der durch gleichzeitigen Beschuss der Probe mit einem Edelgas-Ionenstrahl den auf der Oberfläche abzuscheidenden Teilchen Energie zugeführt wird, was zu einer besseren Qualität (z.B. Haftung auf dem Substrat, stöchiometrische Zusammensetzung) des abgeschiedenen Films führt.

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Ion

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