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Ionenstrahlmischen

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Manfred Schönborn

Ion Beam Mixing, durch mittel- und hochenergetische Ionenstrahlen hervorgerufene atomare Wechselwirkungen innerhalb des bestrahlten Materials. Ionenstrahlmischen wird technologisch eingesetzt, um verschiedenartige Atomsorten gezielt an Zwischenschichten in Materialien zu mischen und somit deren Eigenschaften zu beeinflussen (z.B. Haftung, elektrische Leitfähigkeit).

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