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Kippwinkel

die Kippung relativ zur Achse eines zur Analyse verwendeten Teilchenstrahls. Ein günstig gewählter Kippwinkel führt zur Erhöhung der Tiefenauflösung an der Targetoberfläche und im Inneren des Targets. (Kernreaktionsanalyse)

Kippwinkel

Kippwinkel 1: Schematische Darstellung zur Veranschaulichung des Kippwinkels bei resonanter Kernreaktionsanalyse. Als Target dient eine Siliziumnitridschicht, der Analysestrahl besteht aus 15N und der Kippwinkel F beträgt 60°.

Kippwinkel

Kippwinkel 2: Abhängigkeit der Tiefenauflösung einer Grenzschicht zwischen Siliziumnitrid und Silizium vom Kippwinkel der Probe. Der Winkel wurde in einer Tiefe von 20 nm von 0° bis 83° variiert.

 

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