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Halbleiterdruckwandler

Halbleiterdrucksensor (Drucksensor), ein Messgrössenwandler auf der Grundlage des Piezowiderstandes von Halbleitern. Diese Sensoren sind empfindlicher als nach klassischen Methoden arbeitende Vorrichtungen. Ihre hohe Empfindlichkeit, die geringen Abmessungen, die kleinen Zeitkonstanten und die Einsatzfähigkeit in einem breiten Temperaturintervall überwiegen meist den Nachteil einer notwendigen Kompensation ihrer Temperaturabhängigkeit.

 

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Halbleitereffekt

 

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