Techniklexikon

Mikrointerferometer

Laboratoriumsmethoden und -geräte, Einrichtung zur interferometrischen Bestimmung von Höhenunterschieden auf einer mikroskopischen Probe. Ein Mikrointerferometer besteht aus einem miniaturisierten Michelson-Interferometer, das in ein spezielles Objektiv eingebaut ist. Das Licht von der Probe wird mittels eines halbdurchlässigen Spiegels in zwei Teilstrahlen aufgespalten. Beide Teilstrahlen erfahren in den beiden Armen des Interferometers einen definierten Gangunterschied. Dies macht sich im mikroskopsichen Bild durch ein überlagertes Muster von Interferenzstreifen bemerkbar. Wird dieser einstellbare Gangunterschied durch unterschiedliche Höhen im Präparat vergrössert, ergibt sich an diesen Stellen ein Versatz der Interferenzstreifen. Aus der Grösse des Versatzes kann auf den Höhenunterschied geschlossen werden.