Techniklexikon

Zerstäubungsausbeute

Oberflächen- und Grenzflächenphysik, für einen einelementigen Festkörper die Anzahl der herausgeschlagenen Teilchen pro Anzahl der eingeschossenen Teilchen (Ionen) bei der Ionenstrahlzerstäubung. Die differentielle Zerstäubungsausbeute ist analog zum differentiellen Wirkungsquerschnitt definiert als die Anzahl der in ein Raumwinkelelement emittierten Atome der Energie dE (Energieintervall) pro Anzahl eingeschossener Ionen. Die Zerstäubungsausbeute ist abhängig von der Energie der eingeschossenen Ionen, dem Winkel h, unter dem die Ionen auf die Festkörperoberfläche treffen (starke Winkelabhängigkeit bei Einkristallen), und der Zusammensetzung des Targets (partielle Zerstäubungsausbeute bei verschiedenen Targetatomen).