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Auger-Elektronenmikroskopie

elektronenmikroskopisches Verfahren zur Darstellung der elementaren Zusammensetzung von Probenoberflächen. Grundlage der Auger-Elektronenmikroskopie ist der Auger-Effekt. Dabei werden durch den beleuchtenden Elektronenstrahl Atome im Präparat ionisiert. Die freiwerdenden elektronischen Zustände können durch gebundene Elektronen aus energetisch höheren Zuständen oder gar von Kontinuumselektronen besetzt werden. Die Energiedifferenz kann entweder zur Erzeugung von elektromagnetischer Fluoreszenzstrahlung oder von niederenergetischen Auger-Elektronen verwendet werden. Üblicherweise werden als Auger-Elektronenmikroskope modifizierte energiefilternde Elektronenmikroskope verwendet.

 

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