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Elektronenlithographie

Elektronenstrahllithographie, Teilprozess der LIGA-Verfahren, bei dem durch einen gebündelten Elektronenstrahl Strukturen in eine Trägersubstanz gebrannt werden. Feine Randstrukturen und breitere Gebiete werden mit unterschiedlich eng gebündelten Elektronenstrahlen erzeugt. Die Grenzen für Detailstrukturen liegen bei etwa 0,1 mm.

 

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