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Feinvakuum-Ionisationsvakuummeter

früher: Hochdruck-Ionisationsvakuummeter, ein Ionisationsvakuummeter, dessen Druckmessbreich zwischen 100 und 10-4 Pa (zwischen 1 und 10-6 mbar) liegt.

 

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Feinvakuum
FEL

 

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