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Ionisationsvakuummeter

Vakuumtechnik, ein Vakuummeter, bei dem der zu messende Druck durch Ionisation der Gasteilchen in einen elektrischen Strom überführt wird, welcher zur Teilchenzahldichte n proportional ist. Bei einem Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter ist dieser Strom ein reiner Ionenstrom, während es sich beim Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter (Penning-Vakuummeter) um einen Gasentladungsstrom (Gasentladung) handelt. Die älteste Bauform des Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter war ähnlich wie bei einer Triode; neuere Formen sind das Bayard-Alpert-Vakuummeter und das Extraktions-Vakuummeter, die durch Vermeidung von Reststromeffekten Messbereiche von bis hinab zu 10-10 Pa (10-12 mbar) erreichen. Die untere Messgrenze der Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter liegt bei 10-11 Pa.

Ionisationsvakuummeter

Ionisationsvakuummeter 1: Prinzip eines Ionisationsvakuummeters mit Glühkathode; UH: Heizspannung, IH: Heizstrom der Glühkathode (K), UA: Anodenspannung, UC: Kollektorspannung, I+: Ionenstrom zum Kollektor (C), I-: Elektronenstrom zur Anode.

Ionisationsvakuummeter

Ionisationsvakuummeter 2: Abhängigkeit der Vakuummeterkonstanten e vom Gasdruck p für Argon; die unterschiedlichen Symbole stehen für verschiedene Messmethoden.

 

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