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Haftfestigkeit

Begriff zur Charakterisierung dünner Schichten und deren Adhäsionsverhaltens auf verschiedenen Trägermaterialien. Die Bestimmung der Haftfestigkeit erfolgt häufig mit semiempirischen Abreisstests (Scotch-Tape-Test) durch die Ermittlung des Anteils der auf dem Trägermaterial verbliebenen Schicht im Vergleich zur gesamten mechanisch belasteten Fläche. Die Haftfestigkeit von dünnen Schichten wird besonders durch Oberflächenverunreinigungen des Trägermaterials und durch die während der Schichtherstellung entstandenen mechanischen Spannungen herabgesetzt. Die Haftfestigkeit ist ein wichtiges Kriterium zur Bewertung der technischen Einsatzmöglichkeiten von Dünnschichtanordnungen, insbesondere von verschleissmindernden Schichten wie TiN.

 

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