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Hochfrequenz-Entladung

HF-Entladung, eine Wechselstromentladung, bei der ein in den Entladungsraum kapazitiv oder induktiv eingekoppeltes elektromagnetisches Wechselfeld eine Ionisierung des Neutralgases bewirkt.

 

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Hochfrequenz
Hochfrequenz-Ionenquelle

 

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Weitere Begriffe : Mikrostreifenleiter | Geschwindigkeitsdämpfung | Niveauregelung

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