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Hochfrequenz-Ionenquelle

HF-Ionenquelle, eine Ionenquelle, bei der man das Plasma durch ein in die Plasmakammer eingekoppeltes elektromagnetisches Wechselfeld mit Frequenzen von einigen MHz generiert und aufrechterhält. Die Einkopplung ist kapazitiv oder induktiv möglich. HF-Ionenquellen haben den Vorteil, dass auch reaktive Gase ionisiert werden können, die bei Verwendung eines Kathodenheizdrahtes zerstörend wirken.

 

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