Techniklexikon

Ionenzerstäuberpumpe

eine Ionengetterpumpe, bei der die Sorptionswirkung durch Zerstäuben (Sputtern) des Gettermaterials in einer Gasentladung hervorgerufen wird. Gleichzeitig werden die Ionen durch Elektronenbeschuss aus der Gasentladung erzeugt. Dieser Pumpentyp wurde ursprünglich entwickelt, um genau diesen Effekten (Gasaufzehrung und Druckverfälschung) entgegenzuwirken. Das Saugvermögen der Pumpe ist druckabhängig, es erreicht bei 10^-4 Pa (10^-6 mbar) ein Maximum im Bereich von 100-500 l/s. Ein besonders hohes Saugvermögen besitzen Triodenpumpen, die ausser Kathoden- und Anodenplatte noch eine weitere Platte besitzen, die Auffangplatte. (Getterpumpen, Vakuumpumpen)