Techniklexikon

Getterpumpe

Vakuumtechnik, eine Sorptionspumpe, in der das auszupumpende Gas in einem Gettermaterial durch Absorption, Chemisorption oder chemische Reaktion festgehalten wird. Gettermaterial ist meist ein Metall oder eine Legierung, entweder als massiver Körper oder als frisch niedergeschlagene dünne Schicht. Dabei kann das Gettermaterial durch Erhitzen bis zu einem gewissen Grad regeneriert werden. Es wird unterschieden zwischen nicht ionisierenden Getterpumpen (Volumengetterpumpen, Verdampfergetterpumpen) und Ionengetterpumpen (z.B. Ionenzerstäuberpumpe), bei denen die Gasteilchen ionisiert und dann mit einem elektrischen Feld zum Gettermaterial hin beschleunigt werden.

Getterpumpe 1: Abhängigkeit des Saugvermögens S (Gettergeschwindigkeit) von der Zeit bei einem Titan-Verdampfungsgetter (Getterfläche 0,08 m², q = 20°C) für Wasserstoff bei verschiedenen Drücken: a) 2,44 · 10^-9 mbar; b) 2,25 · 10^-8 mbar; c) 7,59 · 10^-8 mbar; d) 2,87 · 10^-7 mbar. q_pV ist die pV-Stromstärke.

Getterpumpe 2: Zeitabhängigkeit des Saugvermögens S eines Barium-Verdampfungsgetters für Sauerstoff und Kohlenmonoxid.