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Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop

Laboratoriumsmethoden und -geräte, LVSEM, low voltage scanning electron microscope, hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop. Das Funktionsprinzip des LVSEM basiert auf der Überlegung, dass bei Verringerung der Energie E0 der Elektronen ihre Reichweite R gemäss der empirischen Beziehung rasterelektronenmikroskop.gif" v:shapes="_x0000_i3364" alt="Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop"> stark reduziert wird. Dabei ist der Faktor a elementabhängig. Der Exponent n (rasterelektronenmikroskop.gif" v:shapes="_x0000_i3365" alt="Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop">) nimmt für E0 = 1-10 keV die kleineren Werte und für E0 = 10-100 keV die grösseren Werte an. Beispielsweise verringert sich die Reichweite R bei einer Reduktion von E0 = 30 keV auf 1 keV etwa um einen Faktor 300. In der LVSEM ist ein geringer Strahldurchmesser bei gleichzeitigem hohem Strahlstrom entscheidend.

 

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