Techniklexikon

Niederspannungs-Rasterelektronenmikroskop

Laboratoriumsmethoden und -geräte, LVSEM, low voltage scanning electron microscope, hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop. Das Funktionsprinzip des LVSEM basiert auf der Überlegung, dass bei Verringerung der Energie E₀ der Elektronen ihre Reichweite R gemäss der empirischen Beziehung  stark reduziert wird. Dabei ist der Faktor a elementabhängig. Der Exponent n () nimmt für E₀ = 1-10 keV die kleineren Werte und für E₀ = 10-100 keV die grösseren Werte an. Beispielsweise verringert sich die Reichweite R bei einer Reduktion von E₀ = 30 keV auf 1 keV etwa um einen Faktor 300. In der LVSEM ist ein geringer Strahldurchmesser bei gleichzeitigem hohem Strahlstrom entscheidend.