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Vorpumpe

Vakuumtechnik, eine Vakuumpumpe, die für sich allein genommen nur geringe Unterdrücke erzeugen kann, jedoch in Verbindung mit einer Hoch- oder Ultrahochvakuumpumpe das zum Betrieb der Hauptpumpe erforderliche Vorvakuum bereitstellt und daher in diesen Vakuumbereichen unverzichtbar ist. Als Vorpumpen am besten geeignet sind Drehschieberpumpen und Sperrschieberpumpen.

 

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Vorrichtung

 

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