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BDI-Verfahren

Engl. Abk. für base diffusion Isolation, Isolation durch Basisdiffusion. BDI-Technik. Spe zielles Verfahren zur Sperrschichtisolation, bei der die Isolationsgebiete gemeinsam mit der Basis in einem Diffusionsschritt erzeugt werden. Beim B. kann der zusätzlich erforderliche Prozeßschritt für die Herstellung der Isolationsgebiete eingespart werden. Da die Basisgebiete nicht sehr tief in das Substrat hin einreichen, darf die Dicke der epitaxierten Kollektorschicht (Epitaxie) nur so groß sein, daß die Sperrschicht des zwischen dem p-Isolationsgebiet und dem n-Kollektor-gebiet entstehenden pn-Übergangs bis zum p-Substrat hinunterreicht.

 

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