Verfahren

Bezeichnung für Prozesse, die auf eine Änderung der physikalisch-chemischen Eigenschaften bzw. auf eine Stoff- oder Zustandsände-rung gerichtet sind. Die in der.Mikroelektronik, speziell in der Technologie der Halbleiterbauelemente eingesetzten physikalischen, chemischen, metallurgischen und sonstigen Ferti-gungs-V. stellen i. allg. einzelne Teilschritte in einem vielfältigen und komplizierten Fertigungsablauf dar, der vom Halbleiterwerkstoff zum fertigen Bauelement führt (Zyklus). Dazu gehören z. B. das Czochralski-Verfahren, die CVD-(Ver-fahren), die Diffusions- und Implantationsverfahren usw. Daneben wird der Begriff V. aber auch zur Bezeichnung eines speziellen, in sich abgeschlossenen Komplexes mit mehreren Teilschritten benutzt. Beispiele dafür sind SBC-Verfahren, LOCOS-Verfahren und V-ATE-Verfahren. Parallel hierzu ist auch die Bezeichnung „Technik" verbreitet.