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Freeman-Ionenquelle

eine zu Beginn der 60er Jahre von J.H. Freeman ursprünglich für Anwendungen im Bereich der elektromagnetischen Isotopentrennung entwickelte Ionenquelle. Sie fand später insbesondere im Bereich der Ionenimplantation für die Mikrochipherstellung grosse industrielle Anwendung. Freeman-Ionenquellen können für die Erzeugung von Ionenstrahlen sowohl aus Gasen als auch aus Feststoffen eingesetzt werden. Ein wenige Millimeter dicker Heizstab liefert freie Elektronen, die in einem parallel zu dem Heizstab orientierten Magnetfeld in Richtung Anode beschleunigt werden. Durch Elektronenstossionisation wird ein Plasma erzeugt, aus dem mit Hilfe eines schlitzförmigen Extraktionssystems ein Rechteckstrahl extrahiert wird. Freeman-Ionenquellen zeichnen sich i.a. durch einen äusserst rauscharmen Ionenstrahl aus.

 

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