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Gasphasenbeschichtung

die Beschichtung eines festen Substrats mit einem während der Beschichtung in der Gasphase vorliegendem Material. Sind chemische Reaktionen an der Schichtbildung beteiligt, wird das Verfahren als Chemische Gasphasenabscheidung bezeichnet. Erfolgt die Beschichtung ohne Beteiligung einer chemischen Reaktion, wird die Beschichtungstechnologie als physikalische Gasphasenabscheidung bezeichnet. (Gasphasenepitaxie)

 

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Gasphasenepitaxie

 

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