Techniklexikon

Implantationsantage

Implanter. Technologische Spezialausrüstung (TSA) zur Erzeugung und Beschleunigung von Ionen zur Dotierung von Halbleitern mittels Ionenimplantation. Zur Ionenerzeugung wird eine Gasentladung verwendet, aus der die Ionen durch ein elektrisches Feld extrahiert und in einem magnetischen Massentrenner gereinigt werden. Es wird eine sehr hohe Reinheit erreicht. Anschließend werden die Ionen elektrostatisch durch zylinderförmige Elektroden auf Energien von 50 bis 300 keV, je nach geforderter Eindringtiefe, beschleunigt. Da der Ionenstrahl kleiner als der Scheibendurchmesser ist, ist eine elektrostatische Ablenkung des Strahls bzw. eine Scheibenbewegung notwendig. Eine in Scheibennähe angebrachte Ionenstrommeßsonde ermöglicht die genaue Dosierung der Ionenmenge - eine Voraussetzung für die Reproduzierbarkeit der Ionenimplantation.