Implanter
Martina Wagner
Festkörperphysik, Ionenimplanter, technisches Gerät zur Ionenimplantation, das meistens aus einer Ionenquelle, einer Einheit zur Ionenextraktion (Spannung), einem Analysemagneten zur Massenseparation, einer Beschleunigungsstrecke, einer Rastereinheit (Scanner) und der Implantationskammer besteht. Implantationen finden aus technischen Gründen unter Hochvakuumbedingungen (£ 10-6 hPa) statt. Implantationsbereiche sind in der Tiefe in erster Näherung bestimmt durch die Ionenmasse und die Ionenenergie, die Targetmasse und die während der Implantation auftretende partielle Ionenzerstäubung.
Implanter: Schematischer Aufbau einer Ionenimplantationsanlage.
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