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Laserablation

Laserabscheidung, Methode zur Herstellung dünner Filme durch laserinduzierte Abtragung von festem Material. Wenn ein Laserstrahl auf ein Material auftrifft, wird seine Energie absorbiert und das Material je nach Energie erwärmt oder geschmolzen und verdampft. Das verdampfte Material kann sich auf einem Substrat als dünner Film niederschlagen, wobei die chemische Stöchiometrie des Films der des Materials vor dem Verdampfen entspricht. Die Laserablation wird u.a. zur Herstellung von Hochtemperatur-Supraleiter-Filmen eingesetzt.

 

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