Verdampfen
Autor:
Martina Wagner
Martina Wagner
Thermodynamik und statistische PhysikFestkörperphysik,
1) Verdampfung.
2) Vakuumverdampfen, Vakuumsublimation, Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten, welches den Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) zugeordnet wird.
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