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Verdampfen

Thermodynamik und statistische PhysikFestkörperphysik,

1) Verdampfung.

2) Vakuumverdampfen, Vakuumsublimation, Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten, welches den Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) zugeordnet wird.

 

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