Leitbahn
Verbindung der einzelnen Bauelemente der IS, die durch Metallisierung und Strukturierung hergestellt wird. Die L. dient dem Austausch von Steuersignalen zwischen den Bauelementen und zur Zuführung der Versorgungsspannung. Ursprünglich genügte eine Leitbahnebene aus Aluminium. Die Erhöhung des Integrationsgrades (LSI,. VLSI) erfordert Mehrebenenleitbahnen, um die L. möglichst kurz zu halten und Kreuzungen zu vermeiden.
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