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Strukturierung

Übertragung der durch das Layout vorgegebenen Strukturen in den Wafer durch gezielte lokale Bearbeitung mit Hilfe einer Maske. Der Prozeß der S. besteht aus den Teilschritten der Strukturerzeugung und -Übertragung. Die Strukturerzeugung erfolgt im Prozeß der Lithografie. Dabei entsteht die für die Strukturübertragung notwendige Maske, mit deren Hilfe die Eigenschaften des Wafers gezielt lokal verändert werden. Die Strukturübertragung erfolgt z. B. durch Materialabtrag. Es werden sowohl Halbleitermaterial als auch durch Aufdampf-, Sputter-technik oder CVD abgeschiedene Schichten durch Ätzverfahren strukturiert. Weitere Möglichkeiten der Strukturübertragung sind die Oxydation und Verfahren der Dotierung (z. B. die Ionenimplantation), die S. von Metallschichten ist auch mit dem Lackabhebeverfahren möglich. Durch eine Reihe aufeinanderfolgender S.schritte entsteht auf dem Wafer die IS.

 

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Strukturgröße minimale
Strukturmodell

 

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Weitere Begriffe : Abgasturbine | Mikroskop, aufrechtes | Pohl

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