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Techniklexikon

Metall-Ionenquelle

Autor
Autor:
Hermann Loring

Anordnung, die zur Erzeugung von Metall-Ionenstrahlen eingesetzt werden kann. Die Metallatome müssen hierzu vor ihrer Ionisation von der festen in die gasförmige Phase überführt werden. Hierzu werden je nach Dampfdruck und Ionisierungspotential der verwendeten Metalle verschiedene Verfahren (Aufheizung des Metalls, Laserstrahlverdampfung, Metall-Vakuum-Bogenentladung) eingesetzt.

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