Schichtdickenmessung
Autor:
Karl-Wilhelm Steinfieber
Karl-Wilhelm Steinfieber
Festkörperphysik, Messung der Dicke von dünnen Schichten. Die Messung kann erfolgen durch einfache Wägung, chemische Mikroanalyse, elektrische Widerstands- oder Kapazitätsmessung oder durch Messung der b-Strahlen- oder optischen Absorption. Wird die Schicht durch Hochvakuumbedampfung (z.B. Molekularstrahlepitaxie) hergestellt, dann lässt sich die Schichtdicke auch aus der verdampften Menge berechnen, wenn der Haftkoeffizient bekannt ist.
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