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Ultrahochvakuum

Vakuumtechnik, der niedrigste der Vakuumtechnik zugängliche Druckbereich mit Drücken unter 10-5 Pa (10-7 mbar). Im Ultrahochvakuum muss besonders auf extrem kleine Leckraten und Entgasungsströme sowie eine verschwindende Pumpenrückwirkung geachtet werden. Für diesen Druckbereich geeignete Vakuumpumpen sind Turbomolekularpumpen, Ionengetterpumpen, Titan-Verdampferpumpen, Kryopumpen und Adsorptionspumpen.

 

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Ultra Large Scale Integration
ultrakalte Neutronen

 

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