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Verdampfergetterpumpen

Vakuumtechnik, eine nicht ionisierende Getterpumpe. Als Gettermaterial dienen die Metalle Barium, Magnesium, Aluminium, Thorium oder, am häufigsten, Titan. Das Gettermaterial wird zunächst entgast, anschliessend durch stärkeres Erhitzen verdampft. Das verdampfte Material schlägt sich an den Rezipientenwänden nieder und bildet dort eine frische und daher besonders aufnahmefähige Sorptionschicht. Sehr kalte Rezipientenflächen oder Edelgasflächen führen zum Niederschlag poröser Sorptionsschichten, die eine noch bessere Aufnahmefähigkeit haben. Verdampfergetterpumpen können bei Raumtemperatur oder in Tieftemperaturbereich betrieben werden.

 

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