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Abhebetechnik

Die A. hat Vorteile gegenüber Ätzverfahren durch einfachere Verfahrensführung und bei der Übertragung kleiner Strukturen. Um das Abheben zu erleichtern, sind überhängende Kanten der Lackmaske wünschenswert. Der Einsatz des Verfahrens wird durch die geringe Temperaturbeständigkeit des Resists beim Aufbringen der zu strukturierenden Schicht (z. B. durch Aufdampftechnik) erschwert.

 

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Abhebegeschwindigkeit
Abkühlung

 

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Weitere Begriffe : Spinoperator | Transient | Anderson

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