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Effekt piezoresistiver

Griech. piezein, pressen, drücken; lat. resis-tere, Widerstand leisten. Physikalische Erscheinung in Halbleitern, die auf einer Widerstandsänderung bei Einwirkung einer mechanischen Größe auf den Halbleiterkristall beruht. Wird ein Halbleiterkristall mechanisch verformt, ändert dieser seinen elektrischen Widerstand. Die Höhe und die Richtung der Widerstandsänderung hängt von der Kristallorientierung und der Richtung der auf den Kristall wirkenden mechanischen Größe sowie vom Leitungstyp und von der Dotierungskonzentration (Dotierung) des Kristalls ab. Der p. E. wird technisch hauptsächlich in Sensoren zur Wandlung einer mechanischen Größe in eine elektrische Größe genutzt (Drucksensor, Kraftsensor, Beschleunigungssensor).

 

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