Techniklexikon

Feldionenmikroskop

elektronenoptisches Gerät zur vergrösserten Abbildung einer Objektspitze mit Hilfe von lonenstrahlen. Das Grundprinzip des auf E. W. Müller (1950) zurückgehenden Feldionenmikroskops ist dem des Feldemissionsmikroskops ähnlich. Im Feldionenmikroskop ist aber die Objektspitze als Anode und der Leuchtschirmbelag als Kathode geschaltet. Während beim Feldemissionsmikroskop ein sehr gutes Vakuum vorausgesetzt wird, ist der Innenraum des Feldionenmikroskops mit einem Edelgas, meistens Helium (10^-1 Pa) gefüllt. Edelgasatome, die sich der Objektspitze nähern, werden ionisiert, und infolge des hohen elektrischen Feldes gelangen die an der Spitze erzeugten Ionen zum Leuchtschirm und bilden dort die Anodenspitze ab. Durch starke Kühlung der Spitze (z.B. mit flüssigem Wasserstoff) ist eine scharfe Abbildung gewährleistet. Mit einem Auflösungsvermögen von 0,2 nm ist die Möglichkeit der Abbildung einzelner Atome gegeben. Zweckmässigerweise wird das sehr lichtschwache Bild mit einem elektronischen Bildverstärker beobachtet.