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Hochvakuumbedampfungstechnik

ein zur Herstellung von Aufdampfschichten metallischer und nichtmetallischer Substanzen geeignetes Verfahren. Grundlage ist eine hinreichende Erhitzung der zu verdampfenden bzw. zu sublimierenden Substanz in einer Vakuumanlage. Die zu verdampfenden Atome oder Moleküle verlassen die Oberfläche des Verdampfungsguts in Form geradliniger Atomstrahlen und kondensieren auf der Wand eines Vakuumrezipienten oder auf den zu diesem Zweck geeignet aufgestellten Schichtträgern unter Bildung einer dünnen Schicht.

 

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