Hybridtechnik
Julian Schultheiss
die Technik zum Aufbau und zur Verbindung von mikrotechnisch gefertigten Bauelementen aus unterschiedlichen Materialien und Herstellungstechnologien auf einem gemeinsamen Substrat. Als Basistechnologien der Hybridtechnik finden besonders die Dickschichtechnik (vor allem Siebdruck), verschiedene Drahtbond-Verfahren, das anodische Bonden, Kontaktierungstechniken (Flip-Chip-Technik, Tape Automated Bonding, TAB) und das Kleben Verwendung.
Hybridtechnik: Prinzipdarstellung des TAB-Verfahrens (Tape Automated Bonding).
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