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Kristallbaufehler

Kristalldefekt. Abweichung vom Aufbau des idealen Einkristalls. K. entstehen sowohl bei der Kristallzüchtung als auch bei den folgenden Fertigungsschritten (prozeßinduzierte K., z. B. durch mechanische Beanspruchung oder bei Hochtemperaturprozessen). Die Züchtung von Si-liciumeinkristallen wird so gut beherrscht, daß nur mikroskopische K. eine Rolle spielen: Punktdefekte und Versetzungen. Bei Silicium gelingt es, nahezu versetzungsfreie Einkristalle zu züchten. Nichtbesetzte Gitterplätze und Atome auf Zwischengitterplätzen sind Punktdefekte, die sich prinzipiell nicht vollständig vermeiden lassen. Gitterfehler.

 

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