Techniklexikon

Mikroanalyse, Röntgen-

Laboratoriumsmethoden und -geräte, Technik in der analytischen Elektronenmikroskopie (Elektronenmikroskop) zur Darstellung der Elementeverteilung in einer Probe. Für biologisch-medizinische Anwendungen hat sich die energiedispersive Röntgenmikroanalyse durchgesetzt. Bei dieser Messmethode werden die von der Probe kommenden Röntgenquanten auf einem Si(Li)-Kristall in Elektron-Loch-Paare umgesetzt und entsprechend ihrer Energie (d.h. Anzahl gebildeter Elektron-Loch-Paare) in einem Vielkanalanalysator sortiert. Als Ergebnis erhält man ein Röntgenspektrum. Zur Identifikation von Elementen werden die aus dem Bremsstrahlungsspektrum herausragenden elementspezifischen Röntgenpeaks ausgewertet.