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Nanostrukturierung

Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Strukturierung eines Festkörpers auf atomarem Niveau. Durch gezielte Modifikation (Implantation) werden atomare, chemische usw. meist oberflächennahe Festkörpereigenschaften verändert. Beispiel dafür ist die Ionenimplantation von Germanium (Ge) in Siliciumdioxid (SiO2), wo Ge-Nanoclustern (typische Durchmesser wenige Nanometer) erzeugt werden, die zu einem veränderten Photo- und/oder Elektrolumineszenz- und/oder Speicherverhalten in elektronischen Bauteilen beitragen können.

 

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