Techniklexikon

Oberflächenanalyse

Oberflächen- und Grenzflächenphysik, technische Analyse von Oberflächenstrukturen mittels hochpräziser Analyseverfahren (abbildende Verfahren: Rasterelektronenmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie, Rasterkraftmikroskopie). Atomare Bindungszustände sind beispielsweise mit XPS oder Auger-Elektronenspektroskopie (AES) zu untersuchen. Atomare Elementkonzentrationen und Zusammensetzungen können mit tiefensensitiven kernphysikalischen Analyseverfahren, z.B. resonante Kernreaktionsanalyse (NRA) und elastische Rückstreuanalyse (ERD), analysiert werden. Zudem werden eine Vielzahl »optischer« Verfahren wie Ellipsometrie, Infrarot-Spektroskopie und Röntgenstreuung eingesetzt.