Röntgenlithographie
Autor:
Hermann Loring
Hermann Loring
In der Entwicklung befindliches Verfahren zur Projizierung der Leitungsbahnen in die Rohlinge hochleistungsfähiger Chips. Diese Bahnen sind nur noch 0, 5 Mikrometer (tausendstel Millimeter) breit, weshalb die Wellenlänge des sichtbaren Lichts mit 0, 4 bis 0, 8 Mikrometer (im Gegensatz zu der Röntgenstrahlung) »zu breit« ist.
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