Techniklexikon

Schleuderbeschichtung

Festkörperphysik, spin coating, Methode zur Beschichtung, bei der ein flüssiges Beschichtungsmaterial auf ein rotierendes Substrat aufgetropft wird. Das Beschichtungsmaterial verteilt sich auf dem Substrat und während des Abdampfens des Lösungsmittels bildet sich eine dünne Schicht mit weitgehend homogener Schichtdicke. Mit dieser Beschichtungstechnologie werden z.B. in der Mikroelektronik Photoresistschichten hergestellt.