Techniklexikon

Elektronenkanone

ein Gerät zur Erzeugung eines möglichst monoenergetischen und scharf gebündelten Elektronenstrahls. Eine Elektronenkanone besteht i.a. aus einer Kathode als Elektronenquelle, einer Anordnung von Elektronenlinsen zum Fokussieren des Elektronenstrahls und einer Anode zwecks Beschleunigung der Elektronen. Die Emission der Elektronen wird meist mittels Glühemission oder Feldemission hervorgerufen. Als Kathodenmaterialien dienen Übergangsmetalle mit geringem Dampfdruck und hoher Schmelztemperatur, wie Wolfram und Tantal, oder Verbindungen, wie LaB₆. Elektronenkanonen mit hohen Stromdichten arbeiten mit der Photoemission, dies ermöglicht auch die Generation polarisierter Elektronen. Als Kathodenmaterial dienen dann Halbleiterverbindungen, wie z.B. GaAs. Je nach Leistung, Fokussierung und Elektronenenergie werden Elektronenkanonen in den unterschiedlichsten Gebieten eingesetzt, angefangen von der Elektronenspektroskopie, über die Elektronenmikroskopie, Lithographie, industrielle Prozesse (u.a. Schweissen, Sterilisieren) bis hin zur Medizin (Anwendung in der Krebstherapie).