Techniklexikon

Elektronenreflektionsmikroskop

Biophysik, Reflektionselektronenmikroskop, Rückstrahlelektronenmikroskop, Gerät zur elektronenoptischen Abbildung von Oberflächen mit an der Objektoberfläche reflektierten Elektronen. Bei dem in der Praxis hauptsächlich angewandten Regime kleiner Reflektionswinkel ist die Energie der reflektierten Elektronen in einem geringen Schwankungsbereich bei gleichzeitig hoher Intensität im reflektierten Strahl, so dass Auflösungen bis zu einigen 10 nm erreicht werden können. Nachteilig macht sich die Bildverzerrung durch die Schrägstellung des Objektes bemerkbar, welche allerdings durch geeignete Zylinderlinsensysteme kompensiert werden kann.