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Gassensor

Sensor, der den Konzentrationsgehalt von Gasen erfaßt und in eine elektrische Größe wandelt. An die Mikroelektronik anpaßbare G. bestehen größtenteils aus Halbleiterwerkstoffen (Halbleitersensor), wie Silicium, spezielle Metalloxide und Keramiken. An G. werden bezüglich der Selektivität, Reproduzierbarkeit und Störsicherheit besonders hohe Anforderungen gestellt, da das Meßgas überwiegend aus einem Gasgemisch heraus erfaßt werden muß. Bisher sind G. u. a. für die Erfassung von Methan, Äthin, Wasserstoff (ISFET), Sauerstoff (Clark-Zelle), Schwefelwasserstoff, Kohlenwasserstoffen, Kohlenmonoxid und anderen Verbrennungsgasen entwickelt worden. Ein häufig angewendetes Meßprinzip nutzt die Fähigkeit von Gasmolekülen, die Elektronenkonzentration an Halbleiteroberflächen und damit die Leitfähigkeit der Oberflächenschicht durch Elektronenaustausch zu verändern. G. werden zunehmend für den Umweltschutz, die Medizintechnik und die Kfz-Technik eingesetzt.

 

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