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Halbleiterblocktechnik

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Autor:
Hans-Peter Ahlsen

Sammelbegriff für die zur Herstellung von Festkörperschaltungen (monolithisch inte grierte Schaltungen) angewendeten Verfahren und Technologien. In der H. werden sämtliche aktiven und passiven Funktionselemente im Innern eines gleichzeitig als Substrat dienenden Halbleiterblocks (Fläche bis 100 mm2, Dicke bis 0, 4 mm) erzeugt, so daß Bauelemente und Bauelementeträger (Chip) aus einem Material bestehen und untrennbar miteinander verbunden sind (Gegensatz: Hybrid-Tech-nik).

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