Techniklexikon

Ionentechniken

Oberbegriff für Verfahren zur Manipulation von Materie mit Hilfe von Ionen, welche auf verschiedene Weise zur Materialbearbeitung, insbesondere zur Oberflächenmodifikation, eingesetzt werden können. Hierbei werden sowohl physikalische als auch chemische Effekte ausgenutzt. Im Gegensatz zum Einsatz von neutralen Atomen und Molekülen ermöglicht der Ladungszustand der Ionen, die Teilchen mit Hilfe elektromagnetischer Felder gerichtet und mit hoher Geschwindigkeit auf die Oberfläche zu bringen (Ionenimplantation, Ionenätzen, Ionenstrahllithographie).