Techniklexikon

Ionenverdampferpumpe

eine Ionengetterpumpe, bei der die Getterschicht durch Verdampfen erzeugt wird. Dies geschieht meist dadurch, dass ein Körper aus Gettermaterial (z.B. Titan) in der Nähe der Anode angebracht wird und sich dort durch Beschuss mit den zur Ionisation gebrauchten Elektronen bis zum Verdampfen aufheizt. Eine häufig benutzte Bauart ist die Orbitronpumpe, bei der die Elektronen in einer zylinderförmigen Kathode eine in deren Mitte gelagerte stabförmige Anode mehrfach umlaufen und damit eine erhöhte Zahl von Gasatomen ionisieren können, bevor sie an der Anode auftreffen. (Getterpumpen, Vakuumpumpen)