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Neutronendotierung

Dotierung durch den Neutronenbeschuß ausgelöste Kernumwandlung von Halbleiterin Dotantenatome (Dotant). Die N. ist ein Dotierungsverfahren, das eine genaue und gleichmäßige Dotierung der gesamten Scheibe auch bei niedrigen Dotan-tenkonzentrationen erlaubt. Daher hat dieses Verfahren besondere Bedeutung bei der Herstellung von Leistungsbauelementen. Die Neutronen (z. B. der Neutronenstrom eines Kernreaktors) lösen beim Auftreffen auf Sili-ciumatome Kernreaktionen aus, so daß sich aus ihnen Dotantenatome (Phosphor) bilden. Die Möglichkeit der N. anderer Halbleitermaterialien wird erforscht.

 

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