Niederenergie-Ionenrückstreuung
Autor:
Karl-Wilhelm Steinfieber
Karl-Wilhelm Steinfieber
Oberflächen- und Grenzflächenphysik, Sonderfall der Rutherford-Rückstreuspektroskopie, speziell zur Studie der ersten Atomlagen. Ionen (z.B. 28Si+) werden mit niedriger Energie (z.B. 10 keV) auf eine Festkörperoberfläche geschossen. Die rückgestreuten Ionen werden mit einem geeigneten Detektor detektiert (z.B. Oberflächensperrschichtzähler) und können Information über die Materialzusammensetzung an der Probenoberfläche geben.
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